
在半導體和液晶面板制造等行業,表面缺陷檢測是確保產品質量的關鍵環節。山田光學(YAMADA)的高亮度鹵素光源裝置YP-150ID/YP-150I,正是為此而設計的宏觀觀察設備。為了幫助您全面了解并正確選型,我為您準備了這份詳細的選型指南。
山田光學的YP-150I系列高亮度鹵素光源裝置,專為檢測半導體晶圓、液晶基板等產品表面的異物、劃痕、拋光不均、霧度等細微缺陷而設計。其核心技術優勢主要體現在以下幾個方面:
超高照度與均勻照明:YP-150I能在樣品表面提供超過400,000 Lux的照度。它采用鹵素燈作為光源,具有高色溫和低照明不均勻性的特點,能提供穩定且銳利的照明效果,便于識別最細微的缺陷。
先進的冷鏡技術:設備使用了冷反射鏡,能將熱能影響降至傳統鋁鏡的約三分之一。這對于檢測熱敏感材料至關重要,能有效避免樣品因過熱而損傷。
靈活的操作模式:具備高/低兩檔照度一鍵切換功能。您無需調整檢測距離,即可根據不同的缺陷類型和觀察需求,快速選擇最合適的照明強度。
為了方便您比對,以下是YP-150I及其同系列型號YP-250I的核心參數表格。
| 參數項目 | YP-150I | YP-250I | 
|---|---|---|
| 照射范圍 | φ30 mm | φ60 mm | 
| 照射距離 | 140 mm | 220 mm | 
| 核心照度 | ≥ 400,000 Lx | ≥ 400,000 Lx | 
| 所用燈具 | JCR15V150W | ELC24V250W | 
| 燈具壽命 | 約50小時 | 約35小時 | 
| 電源與功耗 | AC100V, 50/60Hz, 約200W | AC100V (可對應200V), 約350W | 
| 冷卻方式 | 強制風冷 | 強制風冷(可選風扇類型) | 
了解技術細節后,如何將其與您的實際需求匹配是關鍵。
小型、高精度檢測:其φ30mm的照射范圍非常適合集中檢查小尺寸半導體晶圓(如8英寸及以下)的關鍵區域,或液晶基板上的微型電路。
對操作空間有要求的場景:相對更小的體積和重量,使其在緊湊的工作環境中也能靈活安裝和使用。
預算敏感型項目:燈具和整體功耗相對更低,有助于控制長期的運營成。
大面積、高效率檢測:φ60mm的照射范圍能夠覆蓋更大尺寸的基板(如8英寸晶圓),單次觀察面積更大,有助于提升檢測效率。
產線連續作業:雖然功耗更高,但更強的冷卻系統(可選管道風扇或螺旋槳風扇)有助于在長時間高負荷運行中維持設備穩定性。
明確檢測對象與精度要求
檢什么? 是半導體晶圓還是液晶玻璃基板?具體的材料類型和對熱量的敏感度如何?
查多細? 需要檢測的缺陷最小尺寸是多少?這直接關系到對400,000 Lux照度和光照均勻性的依賴程度。
評估檢測效率與覆蓋范圍
您的產線節拍要求是怎樣的?如果追求單次大面積掃描,YP-250I的φ60mm照射范圍會更高效。如果只是針對特定區域進行精細排查,YP-150I則更專注。
考量工作環境與成本
安裝空間:核對一下設備尺寸,確保您的檢測臺有足夠空間安裝和操作。
總擁有成本:除了設備售價,還需考慮耗材成本。鹵素燈為消耗品,YP-150I的燈具壽命約50小時,YP-250I約35小時,需定期更換。此外,電力消耗也是一個長期因素。
關注燈具壽命:鹵素燈亮度會隨使用時間衰減,建議定期更換以保證最佳檢測效果。記錄使用時間很重要。
善用照度切換:靈活使用高、低兩檔照度切換功能。高照度用于尋找極細微瑕疵,低照度有時能更清楚地觀察某些特定類型的劃痕或霧度。
確保良好散熱:盡管采用了冷鏡技術,保證設備周圍通風良好、定期清理風扇濾網,對于維持設備性能和使用壽命至關重要。
選擇山田光學的強光燈,本質上是為您的檢測工藝匹配最合適的“眼睛"。
若您主要從事小尺寸、高精度的缺陷檢測,且對運營成本和空間較為敏感,YP-150I是性價比高的選擇。
若您的產線處理較大尺寸的基板,并追求更高的檢測效率,那么YP-250I更能滿足您的需求。