
在半導體晶圓噴涂過程中,一滴不經意的多余液滴或涂層不均勻都可能導致價值數萬元的芯片報廢。這正是像ATOMAX這樣的精密二流體霧化噴嘴成為高精度制造領域不可少工具的原因。
其AM6S-IST和AM12S-IST型號憑借超細霧化能力和穩定的性能,正在精密制造領域掀起一場技術革命。
ATOMAX AM6S-IST和AM12S-IST噴嘴采用外部混合渦流式二流體霧化技術,解決了傳統噴嘴在精密制造中的多項瓶頸。
傳統噴嘴在處理高粘度液體時往往面臨堵塞風險,而ATOMAX通過直通式流道設計和超大注射直徑,將堵塞可能性降至低。
其液體流道直徑比傳統噴嘴大10-200倍,即使是含有固體顆粒的漿料或高粘度液體也能穩定霧化。
這一創新結構使AM6S-IST和AM12S-IST能夠產生平均粒徑約5μm的超細液滴,且粒徑分布極為均勻,為高精度涂層提供了基礎保障。
在半導體領域,AM6和AM12系列噴嘴應用于晶圓制造的多道工序。
在晶圓預清洗環節,它們可將去離子水或弱堿性清洗液霧化成超細液滴,有效去除0.1μm以上的顆粒污染物,且不損傷晶圓表面。
測試表明,采用這些噴嘴的預清洗工藝可使晶圓表面顆粒污染物減少85%以上。
在光刻膠涂覆過程中,AM6S-IST和AM12S-IST通過精確控制光刻膠霧化,可在晶圓表面形成納米級均勻度的薄膜,厚度偏差控制在±1%以內。
在醫療領域,這些噴嘴用于藥品包衣、醫療器械表面處理和無菌環境消毒。
其超細霧化能力使藥液能夠均勻覆蓋在藥片表面,形成一致性高的包衣層,對于控制藥物釋放速率至關重要。
在汽車零部件和光學器件制造中,AM6S-IST和AM12S-IST實現了高性能表面涂層的精密噴涂。
無論是汽車零部件的高反射涂層還是光學鏡片的防反射涂層,這些噴嘴都能提供均勻細膩的噴涂效果。
與傳統噴嘴相比,AM6S-IST和AM12S-IST可減少15%-70%的壓縮氣體消耗。
其低壓高效運行特性進一步降低了能耗,同時憑借自吸功能,在處理低粘度液體時甚至無需泵送設備。
對于使用高粘度液體或漿料的企業來說,噴嘴堵塞是常見的生產中斷原因。ATOMAX噴嘴的直通式結構和超大孔徑設計,解決了這一難題。
一家使用傳統噴嘴的企業曾需要每8小時停機清洗一次,換用ATOMAX后,維護間隔延長至72小時。
為適應不同工作環境,AM6S-IST和AM12S-IST提供SUS316L不銹鋼、PEEK和PTFE等多種材質選項。
在強腐蝕性的電鍍液霧化環境中,可選擇耐化學腐蝕的PTFE材質;而在需要高機械強度的場合,則可選用SUS316L不銹鋼材質。
根據應用場景的不同,在AM6S-IST和AM12S-IST之間做出合適選擇至關重要:
AM6S-IST更適合微量噴涂(低于1L/h)的場景,如實驗室微量試劑噴涂、精密儀器防腐蝕等
AM12S-IST則適用于需要更寬噴霧覆蓋但仍保持高精度的場合
對于高粘度/含固液體(如陶瓷漿料、3D打印材料),可優先考慮ATOMAX系列。
而在強腐蝕環境中(如電鍍、酸洗),應選擇特殊材質版本。
在空間受限的應用中,AM6S-IST的超緊湊設計(內徑<10mm)顯示出明顯優勢。
盡管AM6S-IST和AM12S-IST性能,但也存在一定的局限性:
價格較高,在預算敏感型項目中可能不如中國本土品牌有競爭力
在超大規模工業噴涂中,可選型號相對有限
對氣體壓力穩定性要求較高,供氣波動可能導致粒徑分布不均
特殊材質噴嘴(如PEEK/PTFE)的機械強度較低,在高磨損環境中壽命可能較短
針對這些局限,用戶可在不需要超細霧化的常規應用中選擇性價比更高的替代品牌,而在關鍵的高精度工序中保留ATOMAX噴嘴。
隨著半導體技術不斷向更小制程、更高集成度發展,以及醫療設備表面處理要求的不斷提高,對精密霧化技術的需求將與日俱增。
AM6S-IST和AM12S-IST這類高精度霧化噴嘴,已成為高品質制造領域不可少的核心組件。